PI 普愛納米位移（上海）有限公司 華南區銷售經理 盧進燈

　　發力半導體設備市場

　　最近幾年PI在中國市場上的業務發 展保持著穩步成長的態勢，除了科研這 一重點細分市場之外，3C電子制造高 精密點膠、醫療器械、光子學測試/裝 配和封裝主動對準等都是PI目前重要的 開拓領域，其中，半導體設備市場是較 為明顯的一個業績增長點。

　　盧進燈表示：“盡管近一年來全球 整體經濟環境處于下行周期，對PI中國 區的業務發展也帶來了一定的影響， 但一個令人可喜的現象是，我們在半 導體設備市場的業務取得了長足的進 步，在這一領域中，我們希望憑借自 己多年來積累的高精密運控控制開發 經驗，能夠為中國半導體設備廠商提 供具有差異化特征、且更高應用價值 的一整套解決方案，其中包括電機、 驅動、運動控制、軟件、配套設施以 及售后服務支持等等?！?/p>

　　例如，在晶圓檢測測試機環節中， 隨著晶圓特征尺寸的減小和設計復雜度 的增加，對于晶圓檢驗(即在起始晶圓 或基板或成品器件中尋找缺陷)的要求 越來越苛刻、挑戰性不斷增加，且成本 日益高昂，這些使得半導體晶圓檢測工 藝中亟需采用高精密運動控制技術以及 具有嚴格速度調節的同步多軸動態性能 方案，同時借助缺陷檢驗分步掃描技術，幫助半導體制造商通過早期缺陷檢 測來防止成品率的損失，并降低成本 ——而這也正是PI高精密運動平臺的應 用優勢所在。

　　針對這一特定應用場景，PI高精密 運動控制平臺在θZ軸采用直驅力矩電 機，負責晶圓或基板的精細旋轉分度和 對準，力矩電機高精度且可重復360度 旋轉，無空回;磁性直接驅動器可實現 高速度和加速度;直接驅動、無槽、無 刷力矩電機可提供非常低的齒槽轉矩， 并實現平穩的速度和低誤差運動。在Z 軸，系統運用無鐵芯直線電機，做精密 晶圓對準，電機具有的零齒槽效應可確 保平滑的掃描速度或精密的增量步進; 搭配高分辨率編碼器可實現運動平臺的 納米級定位。此外，在XY軸，系統采 用高動態無鐵芯直線電機，可在長行程 內實現快速、精密的輪廓加工;搭配絕 對編碼器，確保運行期間的安全性;低 外形剛性平臺可減少阿貝偏移;優化的 集成電纜管理，可減少運動阻力并延長 使用壽命;花崗巖底座進一步保證了運 動系統的較高性能。

　　而在驅控部分，PI高精密運動控制 平臺結合集團內部ACS Motion開發的 支持EtherCAT協議標準的運動控制和驅 動模塊，為客戶提供了開放式網絡連接 方式，同時先進的驅控算法也為快速步進和穩定、高就位穩定性以及出色的恒定掃描速度提供了保 障，且控制器具有自動聚焦功能，可實現動態聚焦調整，前 瞻功能還可調整速度以保持精度，并支持廣泛的編程環境及 高級語言，助力用戶輕松編程運動路徑，包括G代碼等等。

　　磁懸浮創新突破極限

　　全球半導體產業鏈在近幾年發生的劇烈震蕩以及供應鏈 重構，有目共睹，這也為中國本土半導體產業提供了的一個 良好的發展機遇。在PI走過的五十多年發展歷程中，公司在 半導體設備領域具有豐富的實際開發經驗與積累，身處于中 國半導體制造的新一輪高速發展期，除了晶圓檢測之外，PI 直驅技術方案也正朝著半導體制造的前道工藝邁進。據悉， 目前PI已和國內部分半導體設備行業的龍頭企業結為了緊密 的合作伙伴關系，并已有產品批量供應客戶。

　　盧進燈介紹道：“半導體制造的工藝流程較長，目前大 部分國內廠商主要集中在后道制程上，而在光刻、刻蝕、沉 積、摻雜/離子植入等半導體前道制程方面，基本上還是由少 數幾家歐美大公司所主導，近些年中國半導體企業加大了對 前道工藝制程的研發投入，在這一過程中，PI也非常愿意與國 內客戶攜手攻關，助力中國半導體設備技術實現升級突破?！?/p>

　　除了在測試機部分發力之外，據了解，PI研發推出的一 些新技術也正在半導體制造領域嶄露頭角。例如，PI創新開 發的磁懸浮技術使用純磁場支持的非接觸式平臺，可在空間 中以六個自由度自由定位，結合特有的驅動和傳感器技術， 該磁懸浮技術可將分辨率降至納米精度甚至皮米級別精度， 同時具有高動態性，且不會產生粉塵顆粒，特別是能夠滿足 在高潔凈空間中的加工要求。與通常采用的氣浮平臺相比， PI磁懸浮技術幾乎無磨損，即使在高負荷周期和高動態條件 下，也能保證整個使用壽命內的優良性能，并且無振動，能 夠在超高真空或高級潔凈室等精細環境中實現零顆粒操作。

　　據介紹，這項新技術在半導體前道制程光刻設備、檢測計量 等環節上會有非常好的應用前景。

　　建立本土化生產基地

　　早在2019年，PI就開始備籌備建立位于常州的生產基 地，2021年，PI常州工廠正式投產，為中國本土市場客戶提 供了穩定的產品供應貨期和品質保障。目前，PI中國工廠的 產能正穩步提高，生產規模逐步擴大，并且還在上海增設了 應用技術實驗室，以便于能夠結合實際需求，開發出真正滿 足中國用戶使用要求的產品和技術方案。

　　針對現階段直驅市場“內卷”現象升級的狀況，盧進燈 認為，行業“內卷”是一把“雙刃劍”，它一方面可以為中國 自動化用戶帶來許多低成本的技術解決方案;但另一方面， 僅僅圍繞產品價格展開的競爭，也在不斷壓縮企業的利潤空 間，使得企業沒有充足的資金和動力去投入到產品研發中， 開發更加創新型的產品、方案，因此，從長期來看，弊大于 利，尤其是不利于企業和整體行業的健康、良性發展，甚至 有可能會成為行業進步的一個阻力。

　　“市場競爭確實在所避免，但最重要的是首先要明確企 業自身的市場定位，PI始終聚焦在半導體生產和檢驗、高精 度工業制造、光學對準和計量、顯微鏡和生命科學等高端應 用領域，同時通過我們本地化工廠和研發團隊，為中國客戶 提供品質優秀且具有差異化特點的產品和技術方案?！北R進 燈說。

　　在全球工業加速邁向數字化、網絡化、智能化的當下， 制造業對于光通訊、納米級加工等前沿技術的需求愈發凸 顯，憑借在壓電控制、馬達驅動控制、磁性驅動控制、傳感 器、運動控制等技術組合上的豐富經驗，PI將針對各種實際應 用場景，力爭為客戶帶來完整的、定制化的高精密運動控制 及定位系統解決方案，協助中國企業提升研發和生產效率。